晶圆处理机器人针对大承载能力和长距离进行了优化，简单的臂几何形状允许小型闸阀和紧凑的处理器旋转范围。设计用于处理真空机器人领域的任务，具有敏感和大尺寸基板，如玻璃和FPD（平板显示器），也可作为手套箱版本和全不锈钢设计。
  
  晶圆处理机器人有以下基本版本：
  
  WHR-LARGE：适用于真空环境和手套箱中的所有应用，在范围和承载能力方面有很高的要求。
  
  WHR-EXTRA LARGE：在范围方面需求增加的应用，示例：来自Ortner Dresden的TRIAX-Modulim SCOUT 300triax。
  
  WHR-ULTRA LARGE：多可达到熟悉解决方案的3倍，示例：适用于100/200/300/450 mm晶圆的Adenso DTS设备测试系统，适用于高真空和手套箱惰性气体环境。